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特灵 | 用于微细加工的电子制造业的新风净化系统

来源:特灵2022-09-30

微细加工的世界,空间单位都以微米计算。一粒小小的尘埃也能导致精密芯片的报废。用于精密电子制造业的新风净化系统,净化要求远超普通楼宇,直面无尘挑战。特灵CLSP系列净化型空气处理机组应运而生。凭借领先的产品设计标准,全面满足电子行业无尘车间内的洁净度和温湿度平衡需求。


CLSP机组采用双进风离心风机,叶片形式有机翼式和后倾式。风机电机直联驱动,整体效率高。该系列拥有8个机型,风量范围由40,000至140,000CMH,箱体承压能力可达3000Pa。机组型号对应名义风量满足盘管面风速2.5m/s的要求。CLSP机组配置喷淋水洗加湿,自带进气均流板和挡水板,饱和加湿效率≥95%;AMC去除效率≥90%。高压微雾加湿,对水质要求低,加湿效率极佳。

 

电子行业洁净空调系统特点:

 

 

CLSP机组特点:

 

箱体内部平整光滑,不易积灰生菌,满足洁净空调的需求。

 

 

内置框架结构,箱体强度高,满足大风量、高静压的应用需求。

 

 

箱体全方位防冷桥,性能满足欧洲EN1886最高等级TB1级,面板表面没有凝露。

 

 

具有止推弹簧、泄压风阀等多重保护措施,确保风机运行稳定,满足电子厂房低震动需求。

 

 

维修平台、电机吊架、多个检修门,满足电子厂房易维护需求。

 

 

设计优势:

 

 

可应用于以下行业:

半导体

上游支撑产业:

硅晶圆、光刻胶、封装材料

中游制造产业:

光电子、分立器、IC设计、IC制造、IC封测

 

液晶面板

上游支撑产业:

液晶材料、玻璃基板、滤光片、驱动IC

中游制造产业:

液晶面板模组

 

CLSP机组设计生产遵循标准:

EN 1886: 空调机组箱体结构性能(欧盟标准)

EN 13053: 空调机组功能段与性能(欧盟标准)

AHRI 410: 美国冷冻空调协会410标准(强制循环空气加热和空气冷却盘管)

ASHRAE (2016) HVAC Systems and Equipment Handbook

美国采暖制冷与空调工程师学会(2016)暖通空调系统和设备手册

ISO 14694-2003: 工业风机平衡质量和振动等级规范(国际标准)

GB/T 14294-2008: 组合式空调机组(国家标准)

GB/T 2624.1-2006\ISO 5167-1:2003

用安装在圆形截面管道中的压差装置测量满管流体流量(国家标准)

GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范(国家标准)

GB 50019-2015 工业建筑供暖通风与空调设计规范(国家标准)


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